产品说明
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毛细聚焦微区 XRF（10 μm 微点涂镀层与成分分析设备）
毛细聚焦微区 XRF 是一款专为超微区检测设计的高精度设备，采用毛细聚焦光路，可实现最小 10 μm 微点检测。设备具备高光强、高灵敏度与纳米级薄膜检测能力，适用于 FPC、引线框架、传感器、IC 载板、晶圆等微区结构的镀层厚度与成分分析。
产品特点
**1. 10 μm 微点检测能力**
采用毛细聚焦光路，可实现最小 10 μm 光斑，适合超微区结构检测。
**2. 毛细聚焦光路，高光强激发**
光强提升数百至上千倍，可显著增强微区信号，适合纳米级薄膜与微镀层检测。
**3. 适用于 FPC、引线框架与传感器**
可用于金手指、微镀层、微区结构的厚度与成分分析。
**4. 支持晶圆微区检测**
可用于 6–12 寸晶圆的微区薄膜检测，适合前道工艺与封装测试。
**5. 微米级移动平台**
具备微米级定位精度，可精准定位微小点位与复杂结构。
典型应用
- FPC 金手指 Au/Ni/Cu 微镀层检测
- 引线框架 Sn/Ni/Cu 微区结构分析
- 传感器芯片铁镍合金微区检测
- IC 载板微区镀层厚度与成分分析
- 晶圆前道薄膜检测（6–12 寸）
- 纳米级贵金属薄膜检测（Au/Pd/Ni）
选型建议
- 若需要 10 μm 微点检测 → 推荐毛细聚焦微区 XRF
- 若需要纳米级薄膜检测 → 推荐此型号
- 若样品为 FPC、引线框架、IC 载板 → 此型号最适合
- 若需要自动化检测 → 可选择自动化或全自动型号
- 若需要轻元素检测 → 可选择真空型设备
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